時系列データから装置の異常判別プログラムを自動生成

東京エレクトロン デバイスは、IoT（Internet of Things）を活用した予防保全に向けて、時系列データから装置の異常判別プログラムを自動生成する専用機「CX-M」を発売した。生成した異常判別プログラムは、任意の環境で利用できる。

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